logologo
РФА метрология в нанограммном диапазоне массlogo
logo
logo                                                                    logo
Продукция
Области исследования
Разработки
О предприятии
Контакты

РФА метрология в нанограммном диапазоне масс

Разработаны и исследованы высокостабильные стандартные образцы массы на основе пленок кобальта атомного диапазона толщины на сверхгладкой подложке. Предложена и экспериментально реализована аттестация их метрологических характеристик тремя независимыми методами: 1 - методом рентгеновской рефлектометрии путем измерения интенсивности осцилляций рентгеновского коэффициента отражения, 2- по интенсивности флуоресценции материалов пленки и подложки. Стандартные образцы позволяют методом градуировочной функции проводить измерения массы следовых примесей в диапазоне от 1 нг до 3800 нг . Точность измерения массы в диапазоне от 1 до 17 нг не хуже 1 нг , а в диапазоне от 17 до 3800 нг - не хуже 8 нг.

Пубикации:

High-Stable Standard Samples of Mass in the Nano-Gram Range / [I.F. Mikhailov, A.A. Baturin, Ye.A. Bugaev, A.I. Mikhailov, S.S. Borisova] // Functional Materials. – 2013. - №2. – С. 266-271

Количественное определение примесей в наноразмерном диапазоне масс в схеме рентгенофлуоресцентного анализа с вторичным излучателем / [И. Ф. Михайлов, А. А. Батурин, А. И. Михайлов, Е.А. Бугаев] // ПТЭ. – 2013. - №1. – C. 94-96.

 


foot
foot